箱式炉-快速退火炉

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名称：上海哈腾电炉设备有限公司
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产品分类

        1. 升降温速度快，升温采用环形红外短波加热器，*快升温速率可达200℃/s，降温时通过将炉膛退出，实现对产品的快速降温；
        2. 测温采用精准的S型金属热电偶直接测量产品表面，使加热工件的温度更加准确；
        3. 控制数学控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式，使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃；
        4. 功能多样化，既可以用于材料的快速升降温退火，也可用于化学气相沉积（CVD）法，在镍或铜箔上制备石墨烯的制备。

设备参数

电源	AC380~400V，50HZ（60Hz定制）
**功率	15Kw
额定温度	1100℃
使用温度	≤1000℃
反应腔室尺寸	Φ100X200
温场均匀性	±3℃
温度控制模式	智能模糊全闭环PID控制
传感器内型	S型单铂铑
*快升温速率	200℃/s
降温速率	1～200℃/s（通氮气，速率更快）
操作方式	触摸屏控制
真空系统	选配
进出气接口	Φ6卡套
本产品接受非标定制

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